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真空烘箱预处理系统的工作流程

2020-10-28 22:06:00 点击量:

  真空干燥过程是一种复杂、时变、非线性的工业过程,干燥控制就是要调整和控制影响整个干燥过程的工艺参数。 广泛应用于生物化学,化工制药、医疗卫生、农业科研、环境保护等研究应用领域,作粉末干燥、烘培以及各类玻璃容器的消毒和灭菌只用。特别适合于对干燥热敏性、易分解、易氧化物质和复杂成分物品进行快速高效的干燥处理。
  一、真空烘箱预处理系统的一般工作流程:
  先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充人氮气,充到达到某低真空度后,冉次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图:先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚,消除氢键作,从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。
  二、真空干燥箱特定的功能:
  1、省电功能:当控制器被配置来处理故障时,如在运行时,控制器的突然断电,运行周期时间,状态,段数,时间会自动保存在控制器中,当再次接通电源时,控制器在zui后中断运行。
  2、如果液晶屏显示的光伏区域显示“”它表明该传感器开路或输入信号超过了测量限;如果光伏区显示“”,则该传感器的短路或输入信号低于该范围的下限。
  3、等到温度重量:当控制器在斜坡段,到一段时间,如苏>光伏+重量,控制器自动暂停,直到主管+重量输入曲线;确保温度时间曲线的准确性,重量为0,斜坡时间,无需等待,直接进入一个曲线。
  4、关键操作:控制器处于停机状态,必须经过长时间的减速运行,该程序将从第一段开始运行,如果测量开始,编程值开始运行从测量值,时间来衡量所需的值,如果没有测量值的开始,程序从零开始运行。
  5、电源故障处理,控制器功率从电源开始运行(上电源故障的周期时间,7),如果测量开始,编程值开始运行从测量值,时间来衡量时间值。如果没有测量,从zui后一个程序中断设置和运行时间。